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和MEMS工藝制作的可控制溫度的電導敏感元件。如在中央部位表面利用納米材料制作氣體敏感薄膜，則該元件即成為氣體微傳感器的基礎元件，可用于摧各種類型的氣體微傳感器以及微傳感器陳列。這種微光電開關傳感器的優(yōu)勢在于體積小，功耗低、可批量生產(chǎn)，隨之而來的問題則在于硅基底材料的立體加工工藝、元件的可靠性以及元件與敏感材料之間的兼容性等。 利用上述元件制作 的一種SNO2氧化物薄膜氣體微傳感器的結構。SNO2氧化物薄膜對氣體的敏感特性是與溫度有關的，主要原因在于氣體分子在表面的吸/脫附過程、氣體分子在表面的吸附量、反應速度等均與溫度有關。 此外，溫度還會引起微結構的尺寸變化。因此，這種SNO2氧化物薄膜結合可控溫元件的微傳感器比起傳統(tǒng)形式的SNO2氧化物薄膜氣體微傳感器有明顯的優(yōu)勢。 溫度控制在元件特性方面的作用在元件的制作 方面，需要考慮的因素主要有加溫元件的益以及表面薄膜制作時微結構的控制。溫度的變化導致元件對各種氣體成分的敏感特性改變，因此可愛過對元件工作溫度的控制，調(diào)節(jié)敏感元件的氣體敏感特性。為集成有九個敏感元件的器件，所以熱慣性小，溫度變化率比較高。 |
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